1. Método de pontos coloridos: aplique pó de chumbo vermelho uniformemente na superfície a ser medida. Depois de esfregar em um prato padrão, aparecerão pontos brilhantes. Dentro de uma área de 25 mm × 25 mm, se os pontos estiverem uniformemente distribuídos e numerosos (por exemplo, maiores ou iguais a 20 pontos), o nivelamento é aceitável. Este método é adequado para medições aproximadas rápidas, mas tem menor precisão.
2. Método de interferência plana óptica: pressione um plano óptico (planicidade<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Franja Anular: Valor de erro=número de franjas × λ/2 (λ é o comprimento de onda da luz).
Franja Reta: Valor de erro=curvatura × espaçamento de franja/2.
Esse método atinge precisão de nível-nanométrico e é adequado para inspeção de-pequenos planos.
3. Método Indicador: Usando uma placa padrão como referência, meça a superfície ponto por ponto com um micrômetro. Se o método de três{2}}pontos for usado para ajuste, a diferença entre as leituras máxima e mínima é o valor do erro; o método da zona mínima requer cálculo matemático. Oferece alta precisão, mas é complicado de operar.
4. Método Colimador/Nível: As medições são feitas em pontos dispostos em uma grade, e o desvio de cada ponto em relação à referência é registrado. O erro de planicidade é calculado usando o método dos mínimos quadrados ou o método da zona delimitadora mínima. Adequado para inspeção-de grandes áreas, mas requer um ambiente estável.
